美國mks真空計的選型指南mks真空計測量低于大氣壓的氣體壓強的工具稱為真空計。也叫真空規。凡能從其本身測得的物理量(如液柱高度、工作液、比重直接計算出氣體壓力的稱真空計,這種mks真空計測量精度較高,主要用作基準量具。mks真空計主要利用氣體在低壓力下的某些物理特性(如熱傳導、電離、粘滯性和應變等)與壓力的關系間接測量,其測量精度較低,而且測量結果還與被測氣體種類和成分有關。因此相對真空計必須用真空計標定和校準后方能用作真空測量。美國mks真空計但它能直接讀出被測壓力,使用方便,在實際應用中占絕大多數。mks真空計需要測量的壓力范圍為105~10-11帕,甚至更小,寬達16個數量級以上,尚無一種真空計能適用于從粗真空(105~102帕)、低真空(102~10-1帕)、高真空(10-1~10-5帕)、超高真空(小于10-5帕)到*真空(小于10-10帕)的全范圍測量,因而有多種真空計。zui常用的有U形管真空計、壓縮式真空計、電阻真空計和冷熱陰極電離真空計,以及可以連續測量的復合真空計。美國mks真空計的選型特點:
低成本傳感器的替代方案
緊湊型系統設計,將電路與傳感器集成與一體
由于傳感器具有快速的、準確的和可重復性的壓力測量,從而縮短了工藝周期時間。
擁有清潔的、牢固的設計和不銹鋼結構,因此傳感器適合于環境嚴苛的工藝
易于操作,具備模擬輸出和數字通信功能
由設定點繼電器獲得的工藝控制具有快速的響應時間。
美國mks真空計的主要參數:
測量范圍:0.1至1000Torr
精度(10-1000Torr):±1%讀數
重復性:±0.3%讀數
電源要求:9至30VDC < 1.2W美國mks真空計的選型指南